步骤,耗时长、成本高。
其中的难点和关键点,在于将电路图从掩模上转移至硅片上。
这一过程,目前只能通过光刻,才能最有效地实现。
所以,光刻的工艺水平,往往直接决定了芯片的制程水平和性能水平。
安正国找来技术人员和材料,在苏扬的指导下,这些专业生产芯片的员工,初步了解到这台光刻机的使用流程。
光刻的原理,实际上非常简单。
在硅片表面覆盖一层具有高度光敏感性的光刻胶,再用光线透过掩模照射在硅片表面。
被光线照射到的光刻胶,会发生反应。
此后,再用特定的溶剂洗去被照射或未被照射的光刻胶,就实现了电路图从掩模到硅片的转移。
这和华夏古代的印刷术,实际上有一些相似之处,但光刻技术却比印刷术难了千万倍。
一般的光刻步骤,有气相成底膜、旋转涂胶、软烘、曝光、显影、坚膜。
接着,就是进行检测,主要是显影检测,让合规的硅片进入后续的蚀刻流程。
所谓蚀刻,便是通过化学或物理的方法,有选择地从硅片表面,除去不需要材料的过程。
完成之后,就能通过特定溶剂,洗去硅片表面残余的光刻胶了。
当然,这是最简易的光刻步骤,在实际生产制造中,比这复杂了上百倍。
从开始光刻,到最后洗去残余的光刻胶,几个步骤,就足足花了三个多小时。
当然,这里面也有一些员工刚刚接触新设备,操作不顺手的因素。
当时间来到下午四点半的时候。
车间内,一片惊喜和欢腾的景象。
“出来了,居然真的做出来了!”
“60nm的电路图,居然真的被我们转移到了硅片上。”
“不可思