日本人费尽心思弄到了防水光刻胶的技术，原本他们这个技术至少是可以吃一代光刻机没问题的。历史上，早期沉浸式光刻机系统也是使用防水光刻胶的接近式光刻机，直到投影式光刻机成为主流防水光刻胶才退出了历史舞台。

他现在拿出来的这份文件，自然就是投影式光刻机的技术专利，可以说这项技术一出防水光刻胶就是一个废物了！

鹤田刚开始还不以为然，在他的心里早就已经认为泛翰集团是砧板上的鱼肉。哪里还有什么翻盘的机会？

这个年代里，日本人不仅是骄傲的，而且也非常有骄傲的资本。整个九十年代，世界十大晶圆厂，日本人占了半数还多！

在鹤田和所有日本人看来，中国人能拿出沉浸式光刻技术纯粹就是瞎猫碰死耗子，反正搞举国体制不正是共产国际的强项嘛！

除了沉浸式光刻技术这种独辟蹊径的取巧之道，日本人绝不相信泛翰集团还能在其他方向产生突破，他们手里的底牌也就是仅此而已。

然而事实证明。中国人比他们想象的要强大的多。这对鹤田来说，不啻是一个巨大的嘲讽。

以技术先进为傲的尼康，竟然会屡屡失败在一个小小的中国企业面前！这tm的不科学啊！

鹤田的脸色随着他看完整个授权专利证书之后，就黑的好像一块锅底的黑炭了。任谁在看到自家花费巨资研发出来的技术。转眼就被人给淘汰掉了，心里肯定都会恨不得把对方给咬死。

可惜，鹤田注定是不敢咬死人的。

步进投影技术不仅能摆脱对防水光刻胶的依赖。更重要的是只要稍作优化，立刻就又能把光刻机制程技术向前推进一个时代……

你们要不要这么逆天？！

鹤田很想这么呐喊一声。如果让泛翰集团这么肆无忌惮的发展下去，说不定连摩尔定律都要被打破了。