槽,可以刚好可以和硅片对准,保证硅片和模板被完全固定,避免滴胶模印过程中,出现细微的移动。
一个研究员表情非常紧张,手掌心都在冒汗,他颤抖着手指,轻轻按在启动开关上。
滴!
通电之后的滴胶器,其滴胶模板将上面储存器的胶液吸入,通过电磁加速让带电胶液快速从上往下拉。
刹那间,一滴滴细微的纳米级胶滴,从模板下方滴落在硅片表面,这些胶滴很快就形成一个个滴点,而这些滴点彼此之间融合在一起,形成一道道纹路。
随即滴胶机断电,仅仅滴落一滴胶液,剩下的胶液被管道裹挟着,根本滴落不下去。
滴胶机离开硅片上方,紧接着光固化设备向硅片表面发射出特定的紫外线,对胶滴图案进行光固化。
叶瑾急不可耐地说道:“快,看看图案有没有问题。”
老刘摇了摇头:“叶博士别急呀!多做几片,到时候一起送检。”
“好吧!”
不到半个小时,滴胶室内就连续生产了几十片滴胶硅片。
负责测试滴胶图案的研究小组,也将一批批滴胶硅片送去实验室的检测。
所有人都不由自主地沉默下来,他们都在等待结果。
时间一分一秒过去了。
大概过了两个小时。
“呼呼…”一个研究员拿着一份报告跑过来。
所有人顿时齐刷刷盯着他。
“呼呼…好消息,滴胶图案没有出现缺陷,可以开始进行蚀刻、沉积等工艺的测试了。”
顿时空气为之一静。
紧接着便是震耳欲聋的呼呼声。
“噢噢噢…”
“我们成功了!”
“万岁!”
“哈哈哈,我就说成功率很高。”
“太好了,我