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第二百八十二章 滴胶(2 / 9)

叶瑾和其他几个小组长讨论着接下来的安排。

“老刘,现在模板已经做好了,我们开始试验,你们硅片准备好了?”

老刘是一个地中海中年人,他笑着回道:“早就准备好了,就等你们的模板。”

“那就按照之前的安排,开始进行测试吧!希望一切顺利。”叶瑾此时心里面也是非常忐忑。

“别紧张,船到桥头自然直。”老刘边说边拿起文件夹,看着上面的一些资料:“522那边的胶料已经准备好了?”

说话的人,是来自于国内一家光刻胶企业的研究员:“那是自然,别小看我们,由于不需要考虑光刻处理,咱们只需要带电的胶材料,这种要求可比光刻胶低了几个量级。”

当然,实际的研究中,这种胶材料并没有那么容易,但难度至少比光刻胶低很多,一番研究之后,522实验室就拿出了几款比较适合的滴胶材料。

老刘看着资料,顿时心里面有一种豪情万丈的感觉:“中微半导体的蚀刻机调试好了,现在万事俱备了,我们开始吧!”

“同意。”

“也好,是骡子是马,总要拉出来试一试。”

“我感觉成功率应该非常高。”

“你小子倒是有信心,如果成功了,大家都要名垂青史了。”

不一会。

他们来到了负责测试的523实验室。

随着滴胶印模板插入滴胶机中,滴胶室内的空气已经被抽空,替换成为不会和胶材料反应,也不会发生电离反应的高纯度惰性气体。

同时除尘设备也持续运行着,保持这个滴胶室内的高度洁净,避免灰尘被电离吸引,从而影响滴胶机的性能。

纯水清洗后的8寸硅片,经过干燥之后,被机器送入滴胶机之中。

滴胶机的模板也是圆形,还有一个刚刚好的卡

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