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第四百六十八章 高攀不起(4 / 5)

王中阳最终也没下了这个决心。

“王总这边请。”周硕安静的灯王中阳参观过了无尘室,然后站到了实验室的中央。这里有一个大概三米长、两米宽的设备,看起来应该是中科院微电子研究中心出品的0.8微米工艺光刻机。

只不过如今这台光刻机很多地方,已经显得和它原始的样子有些面目全非了。

最明显的地方,应该是它的工作台。原来用于光刻200mm单晶硅晶圆的工作台,现在已经被加大了数倍面积。由此带动的传动、对准等子系统的改进,可以说和重新设计一套光刻机系统也没什么区别了。

这还要多亏了尼康无私提供的光刻机成套设计资料,很多地方泛翰集团都参照尼康的技术对这台光刻机进行了改造。

而它之前复杂的棱镜系统也进行了精简,由于采用了接触式沉浸光刻技术,生产芯片用的复杂激光系统被极大的精简,但仍然保持了0.8微米的工艺水准。

造液晶面板不可能像芯片一样复杂,液晶显示器的光刻面积远超制造芯片的晶圆,如果让液晶显示器高的和同等面积的cpu一样,这恐怕就没人能买得起了。

王中阳虽然不懂光刻机,但没吃过猪肉总见过猪跑。凭借松下合资方的优势,他可是废了老大的劲儿才去过一次松下的液晶生产厂。虽然那不是一次愉快的参观记忆,但还是让他对ito光刻机有了一个初步的认识。

和他记忆中松下的生产设备比起来,单看卖相泛翰集团这台设备也不输给他们了。和土鳖产品的传统不同,这台经过改造的0.8微米光刻机性能如何不说,单看造型和涂装就有晃瞎人眼的效果。

王中阳几乎是贪婪的看着这台光刻机,和当初看到日本人光刻机时候的心情完全不同。这次他的心里不再是压抑和惴惴不安,而是充满了骄傲和自豪!

光刻机!光刻机!光刻机!

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