选择哪个路线。”

鹤田看向白石茉莉奈，小声的在她耳边说道：“白石部长，你认为这些技术怎么样？是否真的应该允许泛翰集团把它们注入合资公司来？”

白石茉莉奈愁眉苦脸的翻看着资料上这些技术的具体介绍，微微叹了口气说道：“鹤田专务，显然这些都是沉浸式光刻的配套技术，如果不允许泛翰集团注入这些技术，那我们的0.25微米光刻机恐怕就要遭遇专利壁垒了。”

“专利壁垒！”鹤田眉头皱起来都快打结了，不可置信的说道：“有人能在光刻机领域里。给尼康设置专利壁垒？白石部长你在开玩笑吗？”

“我也希望是开玩笑。”白石茉莉奈微微摇了摇头，说道：“从这些介绍资料上来看，泛翰集团显然在光刻机沉浸式改造方面非常成熟，并且形成了一整个技术系列。和我们尼康、或者阿斯麦比起来，他们已经走了很远了。”

这是当然，沉浸式光刻技术不keneng是一步到位。在光刻机进入0.18微米工艺之后，这项技术用了十年时间才逐渐完善起来。光是光源就从高压汞灯的g线升级到i线，也就是从436nm升级到365nm波长。然后才是krf准分子激光、arf准分子激光和f2准分子激光，波长也从248nm缩短到157nm。

每一种光源当然都不是拿个灯泡换一下就行了。像光刻机这种高精尖设备可谓是牵一而发动全身。光源改变，你滤光系统要不要变？对准系统要不要变？你光刻胶的成分要不要变？

甚至，在0.35微米光刻机的基础上改造0.25微米工艺，如何利用和挖掘现有系统的潜力？

这对二十年后自己实验室里就有一台光刻机的周硕来说。成熟的、广泛应用新技术的光刻机他才是最熟悉的。让他真的去在二十年前的系统上，慢慢改造出沉浸式光刻技术，反而是强人所难的行为。

这就