，日本调查团的行动自由是受到严格限制的。一行十多人的队伍，配合上十多人的安保人员。以及一个五人的接待团队，组成了一个将近四十人的参观队伍。

原本只以为是来技术落后的中国，进行一次考察的日本调查团，在这种严密的保安条件下，反而升起了兴趣。时至今日，泛翰研究院实际上不过完成了两条0.8微米线向0.5微米线的改造，u盘芯片的产能。也控制在两万片左右。这点产量和intel或者东芝比起来，都是不值一提的数量，相应的倒也暂时没有建设专门晶圆厂的必要。

北大路拓也虽然是调查团明面上的团长，但整个调查团里看起来脸上最难看的，却是城三太郎和松田礼人。

“松田君，你看到那个了吗？”城三太郎悄悄的捅了捅松田礼人。抬了抬头向一侧的实验室里示意。

“那是？”松田礼人是通产省这次私下派出的公务员，毕竟不论是日本政府还是美国人，都会对中国的芯片制造技术程度感兴趣。如果想解除0.5微米芯片生产线的对华出口禁令，通产省是绝对绕不开的一座大山。

“很可能是铬原子沉积用到的高真空产生设备，这是纳米光栅研究的重要设备。”城三太郎作为尼康光学试验室的重要成员。对纳米光栅的研究当然不陌生。可以说光刻机主要部件光学镜头的分辨率，是和纳米光栅能够测量的极限有着直接关联的。能够在泛翰研究院看到纳米光栅的研究。这实在是让他吓了一跳。要知道纳米光栅使用的原子沉积设备，也只有英国剑桥和芬兰的beneq这两个机构能够提供。

即使最终调查结果表面，泛翰集团没有掌握0.5微米线的技术，尼康也有必要把其提升到值得关注的级别。愿意下力气去投资研究原子沉积和纳米光栅的机构，绝对是不能小看的对手。

“这应该是中国水平最高的实验室了吧？”松田礼人能被通产省派出来，和城三