“沉浸式？”科委大领导对光刻机研究不深，一时还没反应过来。

“纯水！”王老则不同，只听了这一段话，立刻就明白了这里面的技术关键。

“等等，也就是说，你们泛翰研究院在精密制造上面，并没有什么突破了？”然而终究还是叶德成对此事最为上心，一下就抓住了问题的关键。

通过一个新的子系统实现的技术升级，和通过提高精密制造能力实现的技术升级，虽然结果上并没有什么不同，但对于微电子中心来说意义可就全然不同了！一直以来微电子中心之所以承受如此大的压力，不就是因为泛翰集团只用了一个月时间，就做到了微电子中心两三年才实现的目标吗？

但任何新技术，刚开始取得进步总是很容易的。哪怕是传统的精密制造，芯片工艺从2微米进步到1.2微米，三年时间便足足缩小了800纳米的线宽。但当芯片制造技术的工艺，下降到100纳米以下的级别之后，几十、十几纳米的进步，往往就需要一两年时间的努力。而这些进步需要投入的人力、物力、精力，却更是几十、上百倍于1.2微米工艺的时代。

周硕坦诚的说道：“没错，泛翰研究院虽然有纳米光栅技术项目组，但目前还没有任何进展。沉浸式光刻机技术只对光源、光刻胶和镜头处理有一些要求，正适合我们在微电子中心0.8微米技术的基础上，进行改进。”

叶德成这段时间里受到的压力可是绝对不小。想想堂堂中科院国家级的研究机构，竟然还不如一个民间私企研究院。谁还能吃得下饭、睡得着觉？

如今听闻泛翰研究院的光刻机技术，并非是整体性提高。而是通过一种巧妙的子系统设计。实现的“假”0.5微米工艺。他不由得开怀大笑道：“哈哈，原来是这样。我就说你们一个私企研究院，怎么可能比我们微电子中心，做出更好的成绩来？说到底，不过是取巧罢了。”