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第125章 改良方案(1 / 4)

计划归计划,该拆的设备还是得拆。

不过康驰也不用把它拆得非常零散,只需要把几个模块给分开就行了。

反正这玩意拆了外壳,谁也不认不出是什么东西。

由于工作量比较大,康驰只能在东阳又多停留了一周,

同时在拆解休息的时候,他还抽空看了看常春光所的euv设计图,把图纸都给吃透得差不多了。

在光刻机的euv光源中,有两个相对成熟可靠的方案,即dpp和lpp方案。

这两个方案,其实原理都是差不多的,就是利用锡转换成等离子体的过程中,可以释放出极紫外光,

区别只是dpp是用电击锡来激活,lpp是用激光二次打击锡液激活。

按照华国的一贯风格,自然是啥都要试试,

所以目前这两个方案,分别由常春光所、魔都光所负责研发。

其中魔都光所的lpp方案,进展其实是最快的,据说功率已经达到了188w,转换效率为3.7%,基本能够进入实用化了。

但lpp方案中所需的脉冲大功率二氧化碳激光器,依然没有攻克,目前只有m国和岛国能够生产,和euv光刻机一样有钱也买不到。

所以虽然阿斯麦的euv光刻机,用的就是这个方案,算是给华国指明了方向,但因为专利壁垒和禁售,挑战反而更大。

反观dpp方案,则可以避开专利壁垒,同时它的前景也更大,因为它是直接将电能转化为等离子体能,光源结构简单,随着技术成熟相对容易提升功率,

如果能把同步辐射光源的加速器小型化,那么dpp方案也将会有更大的应用前景。

这也是康驰选择常春光所dpp方案的主要原因。

在吃透了常春光所的图纸,并分析出了他们目前遇到的困难和技术缺陷后,康驰又花

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