euv光刻机的核心技术,主要由三大系统构成。
首先是euv光源系统,这个系统负责制造光刻过程中,需要用到的特殊光线。
从第一代的uv光刻机,到第五代的euv光刻机,光线的波长也从436nm,缩短到了13.5nm,目前所有的光刻机,就是通过光线的不同,来区分技术等级的。
这其中主要涉及到的原理,就是光学中光线波长和清晰度的关系。
最简单的道理,就是进入黄色的钨丝灯房间,大部分人都会感觉视线昏暗,
哪怕多加几个灯泡,也始终感觉没有白色的led灯那么明亮和清晰。
这就是因为黄色光的波长,要远高于白色光,
光线的波长,就像是海浪一样,越大的波浪,拍打在海防堤上的水位高低起伏就越大。
而这个水位的高低落差,换成在光学领域,就成了影响阴影边缘清晰度的重要因素。
因此,想要达到越小制程的芯片工艺,就需要波长越短,越无限接近绝对直线的光。
而在euv光源技术上,据康驰目前所能查到的资料来看,国内的常春光所应该也已经接近突破的边缘了,但具体到了哪一步,康驰也不清楚。
他打算先试着了解一下情况,
如果条件允许,价格合适的话,他可能会直接向他们进行采购,
哪怕技术稍微不达标,采购过来自己再进行改良优化,也能节省大量的时间和精力。
毕竟一台光刻机里面,有足足十几二十万的零部件,全靠大唐重工自己来做的话,那得搞到猴年马月去。
而向他们采购,既不浪费他们的科研成果,还能利用上他们的生产力,
也算是共赢了。
所以康驰这次,并不排斥自己成为组装、调试和改良的角色。
放着华