很快卢宁正对面的大屏幕便亮了起来,随后很快进入到了一个类似动画的界面,上方是一个环形轨道,环形轨道周遭是一个个整齐分布的机器,下方则是一个控制台。
卢宁诧异的看了施耐德一眼。
不过施耐德没有理会他,只是按部就班的操作着。
很快画面动了起来,环形轨道里无数的粒子在光柱的指引下开始飞快转动,随后一道道辐射光直接指向了那一台台机器,通过调整控制面板,就能控制粒子旋转的速度,同时控制辐射光源的强度。
静静地看了一分钟后,卢宁才开口问道:“什么意思?”
“这是工程部通过6小时前在杂志上发表的一篇论文制作出来的动态模拟。如同你所看到的,通过粒子加速的辐射稳定的高强度光源,然后利用这些光源来进行光刻。根据论文中的数据分析,其最强曝光能力甚至可以达到28mj每平方厘米,预估其晶圆产能大概在每小时160-185片之间。当然,这个数字要乘以28。”施耐德沉声解释道。
卢宁半张着嘴,似乎想说点什么,但没能出声。
施耐德并没有停下他的讲述,继续说道:“不止如此,它的控制系统非常完善,也使得其在进行加工时可以更为灵活。只需要分别输入不同的程序跟参数,就能产生不同的光源,使用不同的工艺来生产不同的芯片。换句话说,这一台巨大的设备,相当于一个大型的光刻工厂。而且还是针对不同需要,进行生产的光刻工厂。换言之,这套系统可以随后在euv跟duv进行切换。不管是高端芯片还是低端芯片都能进行生产。”
伴随着施耐德的话音落下,办公室里开始变得安静起来。
卢宁皱着眉头,大概是正在消化施耐德刚才那番话中包含的意思。
如果这一切都是真的,代表华夏如果真的将这种大型设备投产,将会快速取代阿斯麦在半导体