蒸镀舱有四个束源炉和两个电流加热装置,一般情况下都是用一个束源炉蒸镀传输层,比如三氧化钼,另外用一个电流加热装置蒸镀金属电极,比如金、银、铝。
今天需要用到两个电流加热装置和一个束源炉装置。
钨篓是高纯钨打造,其中间是一个篓装结构,可以放置靶材,两边延伸出来大约3-4厘米的长度,用来被固定。
钨的熔点非常高,当电流经过钨篓时会产生高温,高温可以融化其他金属,而钨篓自身不会被融化。
许秋开始装入靶材。
首先是银,因为银比较便宜嘛,所以实验室一次性买了很多回来。
银靶材被简单的装在一个类似于甘草片药瓶子大小和模样的塑料小瓶中,一粒粒的,每一颗的规格相近,长度约0.5厘米,直径约0.3厘米,两端有明显的凹陷进去的剪切痕迹,应该是先把银做成了丝状,然后再剪断制成。
许秋直接往钨篓里丢入了两颗银粒,平常蒸镀100纳米厚度的银,大约用5颗左右的银粒,现在蒸镀9纳米,两颗肯定足够。
理论上,放一颗银粒应该也够。
但在蒸镀这种事上,宁愿多用一点,也不能少,因为一旦少了,这批器件就直接废了。
毕竟,蒸镀这项实验是有非固定损耗的,根据蒸镀速率不同,损耗程度也不同,一般蒸镀速率越慢,损耗的靶材也就越多。
在制备薄层电极时,为了让金属电极连续、均匀,肯定是要压低蒸镀速率的。
把装有银靶材的钨篓固定在电流加热装置上,许秋继续装金靶材。
金靶材是装在一个透明塑料袋里的,原厂可能是出于安全考虑,在透明塑料袋外面还套着一个不透明塑料袋。
金比较贵,实验室里用到的纯度在99.99%级别,价格比市面上的万足金要贵一些。
当然