这样看来是分子泵停止工作,只余下机械泵在工作,无法维持蒸镀舱内的真空度。
他想了想,说道:
“吴菲菲,先把设备关闭吧,我们再来排查原因。”
吴菲菲依次关闭了分子泵、机械泵和蒸镀机器的电源,警报声终于停了。
许秋分析道:
“刚才提示的是分子泵过热保护,那有可能是散热的问题,会不会是循环水系统出现了问题呢?”
“有道理,可是循环水系统已经启动了啊。”吴菲菲道。
“这样吧,我先到里面看看。”许秋道。
循环水系统的原理很简单,它的主体是一个储水罐,内部有冷却装置,可以降低水温,还有一个进水口和一个出水口,分别引出一根管子。
水从出水口流出,在管子中流动,经过需要水冷却的装置,利用水的高比热容带走大量热量,最终从进水口回到储水罐。
这个装置要正常工作,储水罐内的水位需要达到一定的高度。
因为循环水系统是放置在控制台和手套箱的夹缝处,旁边还有一个实验台阻挡,所以不是很好进去。
平常想要开启它,都是用一根长木棍去戳它的启动按钮。
许秋断掉蒸镀仪器的总电源,小心翼翼的从控制台和手套箱的缝隙处,侧身进入。
脚踩在地面上,他感觉不太对劲。
低头一看,地上有一摊水,从循环水系统下面的地板一直延伸出来。
许秋忙关闭循环水系统并拔掉它的电源插头,防止触电。
接着,他俯下身子,寻找漏水的地方,发现水正一滴滴的从出水口往外流。
见状,他打开储水罐的盖子,看向它的内部。
水位已经低于正常使用的下限了,而且里面的水很脏,应该是长时间没人清理。
“