备，实现13.7～7纳米光刻工艺，生产效率是每小时加工10块300毫米的晶圆（硅片）。

神光x射线光刻机：光源——x射线（波长8纳米），可以进行调整设备，实现10～2纳米光刻工艺，生产效率是每小时加工150块200毫米的晶圆（硅片）。

为什么神光x射线光刻机的硅片用200毫米（8寸片），倒不是不能使用300毫米（12寸片），主要是国内目前可以大规模量产的硅片，以200毫米为主。

从硅片加工速度来看，神光是阿斯麦的7.5倍。

而黄明哲也没有打算让神光x射线光刻机以最强状态出售，硅片规格可以升级、光刻胶可以升级、加工精度可以升级，慢慢挤牙膏才可以利益最大化。

黄安国和黄明哲交换了一些意见之后，便连忙匆匆忙忙赶回北平。

……

2月20日。

工信部官网公布了三条信息，如同一颗核弹砸入平静的湖面上。

［关于批准神光仪器公司神光1x射线光刻机生产的公告］

［关于减免神光仪器公司2013年～2015年税收的公告（国税总局）］

［关于国内企业购买神光1x射线光刻机的补贴的公告（商务部、财政部）］

显然这些信息透露出一个非常重大信息，那就是华国的光刻机技术获得突破性进展。

各大官媒、网媒立马抓住机会，大书特书起来。

一时间全国各地都知道这件事，普罗大众不过当做一个茶余饭后的谈资，但是在相关从业者的眼中，这不亚于罗布泊的蘑菇云。

中芯国际。

总裁办公室。

“这个神光仪器是从哪里冒出来的?”总裁赵军诧异的放下文件。

“根据我们的调查，神光仪器公司隶属于思维社公司，而思维