传动系统方面有设计缺陷——准确的说就是这套传统系统的构造上是有问题的，然后我就提出了修改意见。”

“一开始那边倒是挺重视，后面又说再试试——我试他大爷！”曲慧愤愤不已：“这种失败除了浪费经费之外，毫无意义。而且那边见双工件台迟迟搞不起来，索性就去做激光退火设备了。”

苏远山看了一眼郑振川后笑着点了点头：“还好，激光退火也是晶圆厂的必须设备，我还以为他们跑去做电子秤了呢。”

曲慧：“……正经点。”

苏远山开了一个小幽默，垂下眼帘，沉吟了几秒道：“既然这样，那我们就先问问清楚，调查一下，你说是不是郑叔？”

郑振川虽然和精密仪器研究所那边是熟人，但面对这种事，又在苏远山面前，只好笑着点头道：“是，主要还是看看到底问题出在了哪里。不过就我个人而言，还是对双工件台的思路很看好的。”

“没错，双工件台技术必定能提大幅提高光刻机效率的。当初我就在想，这玩意将来要是搞出来，再加上最先进的制程……那真的就能拳打尼康，脚踢佳能了。要知道，光刻机这种印钞机，是真正的赢家通吃啊……”

苏远山先安慰了一下曲慧，紧接着便又等到了有点倒时差意味的赵凯东教授——赵凯东的团队为了配合大洋彼岸的林本坚团队，他们在远芯科技园过起了加利福利亚时间。得益于远芯的宽带在全国的企业和单位里都是出了名的快，他们的线上交流倒是很方便。

这边赵凯东因为是放弃了原本的kbbf晶体，直接转向稀有气体——krf方向，因此一开始还是以林本坚为主导的。但随着研发进度的加快，再加上赵凯东等人“雪耻”的心情，以及……出身自长光所这种“名门大所”与生具来的对技术的敏感，赵凯东的团队渐渐追上了进度，现在双方已经谈不上谁主导谁，只是双方负责不同的领域，朝着