苏远山也笑着点了点头：“曲博士好，郑工，赵工，几位好。”

郑振川和赵凯东对视一眼，心道苏远山这家伙果然不是省油灯，当下一笑，也不拆穿他，点了点头后给苏远山介绍道：“给山总介绍一下，这是长光所精密仪器中心的李克清主任，清华机电系的肖扬教授。”

“李主任好，肖教授好，刘博士好。”苏远山连忙上前几步，冲着站起身的三人挨个握手，笑眯眯地道：“欢迎欢迎。”

“呵呵，山总年轻有为啊！”李克清五十出头，虽然头上一圈地中海，但他丝毫不介意，不像那些官员，非得在边上留着一溜长发然后翻过来盖着，而是直接剃成短发，看起来颇有几分智慧之光的味道。

“李主任谬赞了。”苏远山呵呵笑道：“快请坐。”

“嗯，好。我们就废话不多说了……你们应该收到机电部的意见了吧？对此远芯是如何考虑的？”

“我们啊……”苏远山轻轻叹了口气。

这三人的到来，说起来话很长。

在一年以前，苏远山就对郑振川提出了一个想法，就是对光刻机的工件台进行改造，朝双工件台方面努力。

对此郑振川的答复是，中科院里面对这个改造很感兴趣，然后就让长光所的精密仪器研究中心负责尝试了。

后来精密仪器研究中心搞了几个月，发现自己搞不定，就拉上了清华机械电子系，组成了个联合攻关小组……

然后……他们居然还搞出来眉目了！

最起码，他们已经克服了原理上的困难，找到了设计思路。

既然克服了困难，那么接下来就是完成设计，然后进行工程测试了。

经过远芯这几年不断的产学研推动，无论是清华也好，还是长光所也罢，早已知道这种技术不能只停留在纸上，或者实验室里——特别是双工件台的构想，在此刻甚至